Puslaidininkinė vakuuminė sistema yra viena iš pagrindinių įrenginių, naudojamų puslaidininkiniams įtaisams gaminti. Tai uždara sistema labai švarioje, žemo slėgio aplinkoje, skirta puslaidininkinėms medžiagoms ir įtaisams tvarkyti ir apdoroti.
Puslaidininkinėse vakuuminėse sistemose dėl didelio švarumo ir mažo nuotėkio reikalavimų dažnai naudojami didelio našumo guminiai sandarikliai. Štai keletas įprastų guminių sandariklių tipų:
Viton (FPM) sandarikliai: Viton yra chemikalams ir aukštai temperatūrai atsparus fluoroelastomeras, plačiai naudojamas vakuuminėse sistemose. Jis turi puikų atsparumą aukštai temperatūrai, atsparumą korozijai ir mažą dujų pralaidumą, todėl tinka sandarinimo reikalavimams, kurie atlaiko aukštą vakuumą ir aukštą temperatūrą.
Nitrilo (NBR) sandarikliai: Nitrilas yra bendrosios paskirties sintetinis kaučiukas, pasižymintis geru atsparumu alyvai ir dilimui. Puslaidininkinėse vakuuminėse sistemose nitriliniai sandarikliai dažniausiai naudojami kai kuriose neaukštos temperatūros, nerūdijančiose srityse, pavyzdžiui, mažo vakuumo ir dujotiekio jungtyse.
Silikoninis (VMQ) sandariklis: silikonas yra aukštai temperatūrai atspari silikoninė guma, pasižyminti geru elastingumu ir atsparumu karščiui. Jis dažnai naudojamas puslaidininkinėse vakuuminėse sistemose, kad atlaikytų sandarinimo reikalavimus aukštos temperatūros aplinkoje, pvz., terminis apdorojimas, atkaitinimas ir valymas aukštos temperatūros garais.
EPDM sandariklis: EPDM yra etileno propileno guma, pasižyminti geru atsparumu oksidacijai, atsparumu rūgštims ir šarmams. Puslaidininkinėse vakuuminėse sistemose EPDM sandarikliai dažnai naudojami neaukštos temperatūros, nerūdijančiose srityse, pavyzdžiui, žemo vakuumo ir dujų perdavimo vamzdynuose.
Šie guminiai sandarikliai turi skirtingas charakteristikas ir taikymo sritis. Renkantis tinkamą sandariklį, reikia atsižvelgti į tokius veiksnius kaip sistemos darbo sąlygos, temperatūros diapazonas, terpės savybės ir slėgio reikalavimai. Be to, siekiant užtikrinti sandarinimo efektyvumą, sandariklių gamybos ir montavimo procesas taip pat turi atitikti griežtus proceso reikalavimus.
Puslaidininkinėse vakuuminėse sistemose, siekiant efektyvaus sandarinimo, be guminių sandariklių, dažnai naudojamos ir guminės tarpinės. Štai keletas įprastų guminių sandariklių tipų:
O-žiedo tarpiklis: O-žiedas yra apskrito skerspjūvio guminis tarpiklis, plačiai naudojamas puslaidininkinėse vakuuminėse sistemose. Jis pasižymi geromis sandarinimo savybėmis ir suspaudimo deformacijomis ir gali prisitaikyti prie skirtingų sandarinimo reikalavimų, tokių kaip vamzdžių jungtys, vožtuvai, jungtys ir kt.
Plokščias sandariklis: plokščias sandariklis yra plokščias guminis sandariklis, dažniausiai naudojamas flanšinėms jungtims puslaidininkinėse vakuuminėse sistemose. Jis užtikrina sandarumą, kai liečiasi su flanšo paviršiumi, ir paprastai yra pagamintas iš aukštai temperatūrai chemiškai atsparios guminės medžiagos, tokios kaip Viton arba silikonas.
U formos tarpiklis: U formos tarpiklis yra U formos skerspjūvio guminis tarpiklis, tinkamas specifiniams sandarinimo poreikiams puslaidininkinėse vakuuminėse sistemose. Jis dažnai naudojamas stūmokliams, stūmoklių strypams, cilindrams ir kitiems komponentams sandarinti, pasižymi geromis sandarinimo savybėmis ir atsparumu gniuždymo deformacijai.
V formos tarpiklis: V formos tarpiklis yra V formos skerspjūvio guminis tarpiklis, dažniausiai naudojamas vožtuvams ir besisukančių velenų sandarikliams puslaidininkinėse vakuuminėse sistemose. Jis užtikrina efektyvų sandarinimą, kai liečiasi su sandarinimo paviršiumi, turi gerą sandarumą ir atsparumą dilimui.
Šių guminių tarpiklių pasirinkimas nustatomas atsižvelgiant į specifinius sandarinimo reikalavimus, darbo sąlygas ir terpės savybes. Tuo pačiu metu labai svarbus ir tarpiklio medžiagos pasirinkimas. Dažniausiai naudojamos medžiagos yra Vitonas, nitrilas, silikonas ir kt. Renkantis reikia atsižvelgti į tokius veiksnius kaip temperatūros diapazonas, atsparumas cheminei korozijai ir dujų nuotėkio greitis. Montuojant tarpiklį reikia atkreipti dėmesį į tai, kad sandarinimo paviršius būtų švarus ir kad tarpiklis būtų tinkamai sumontuotas ir prispaustas, kad būtų pasiektas geras sandarinimo efektas.
Populiarus Žymos: puslaidininkinių vakuuminių sistemų sandarikliai, Kinijos puslaidininkinių vakuuminių sistemų sandariklių gamintojai, tiekėjai, gamykla
