Perfluoroeterio guma (FFKM)yra puiki sandarinimo medžiaga. Dėl savo puikių savybių jis buvo plačiai naudojamas visoje puslaidininkių gamybos sistemoje. Viena iš pagrindinių eksploatacinių medžiagų, reikalingų integriniams grandynams gaminti, yra perfluoroeterio sandarinimo žiedai.
Pagrindiniai perfluoreterio kaučiuko monomerai yra tetrafluoretilenas ir perfluoralkilvinilo eteris, kurie kopolimerizuojami su nedideliu kiekiu trečiųjų monomerų su vulkanizacijos taškais. Tai guma, kurioje iš viso nėra CH jungčių. Fluoro kiekis jo molekulinėje struktūroje, perfluorinto vinilo eterio struktūra ir kiekis bei jungties energija ir kryžminių jungčių kiekis vulkanizacijos procese turi įtakos vulkanizuoto junginio veikimui ir stiklėjimo temperatūrai. Struktūra ir komponentai skiriasi, kaip ir jų veikimas. Toliau pateikiamos pagrindinės perfluoroeterio gumos eksploatacinės charakteristikos:
1) Fizinės savybės: tankis yra 1.9-2.0g/cm3, fizinės ir mechaninės savybės yra panašios į fluoro kaučiuką, o aukštos temperatūros suspaudimo rinkinys yra pranašesnis už fluoro kaučiuką.
2) Cheminis atsparumas: yra chemiškai atsparus.
3) Atsparumas aukštai ir žemai temperatūrai: darbinė temperatūra paprastai yra 260 290 laipsnių, tačiau ji gali būti naudojama su pertrūkiais 316 laipsnių temperatūroje. Kai kurių perfluoreterinių kaučiukų Tg (stiklėjimo temperatūra) yra -19 laipsnis.
4) Atsparumas aukštos temperatūros garams.
5) Mažas kritulių kiekis ir išmetimas.
6) Atsparumas plazmai.
Jis pasižymi dideliu švarumu ir mažu kritulių kiekiu plazmos aplinkoje ir ilgą laiką gali atlaikyti plazmos poveikį.Elastomerinių tarpiklių patikimumas yra labai svarbus puslaidininkių gamyboje, o gamybos sustabdymo, norint pakeisti tarpiklius, kaina yra itin didelė. Tarpiklių švaros ir grynumo reikalavimai yra itin griežti, kad būtų išvengta galimos rizikos. Tuo pačiu metu sandarikliai turi veikti ilgą laiką esant didelio vakuumo, korozinių cheminių dujų slėgiui ir aukštos temperatūros aplinkoje.
Perfluoroeterio gumos žaliavos yra brangios ir dažniausiai naudojamos puslaidininkių gamyboje. Jis yra atsparus plazmos korozijai, dujų korozijai, rūgščių ir šarmų korozijai, aukštų temperatūrų korozijai, aukštiems guminių tarpiklių švaros reikalavimams, padeda išlaikyti sandariklio vientisumą, sutrumpina priežiūros laiką ir pagerina saugumą bei yra geriausias sandariklis puslaidininkių gamyboje. Medžiaga.